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Mikrooptische Funktionsmodule auf der Basis von LIGA-Technik sowie Aufbau- und Verbindungstechnik. Konzepte, Potential und Anwendungen in der Informationstechnik

Mohr, J.; Göttert, J.; Müller, A.; Müller, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240038271
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 2.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 28.-29.November 1995 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-5670 (November 95)
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