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Multigassensorchip auf Metalloxidbasis für Prozeßsteuerung und Umweltüberwachung

Althainz, P.; Goschnick, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Radiochemie (IRCH)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240038349
HGF-Programm 41.03.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 2.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 28.-29.November 1995 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-5670 (November 95)
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