KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Elektromagnetische Linearmikroaktoren nach dem LIGA-Verfahren

Rogge, B.; Schulz, J. ORCID iD icon; Mohr, J.; Thommes, A.; Menz, W.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240038359
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 2.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 28.-29.November 1995 (Poster) Wissenschaftliche Berichte, FZKA-5670 (November 95)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page