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Anwendungen der Mechanischen Mikrotechnik

Bier, W.; Linder, G.; Schaller, Th.; Schubert, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240038363
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 2.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 28.-29.November 1995 (Poster) Wissenschaftliche Berichte, FZKA-5670 (November 95)
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