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Informationsumgebung zum Entwurf von LIGA-Mikrostrukturen

Eggert, H.; Guth, H.; Scherer, K.P.; Stiller, P.; Stucky, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240038365
HGF-Programm 41.05.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 2.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 28.-29.November 1995 (Poster) Wissenschaftliche Berichte, FZKA-5670 (November 95)
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