KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Tribological investigations of LIGA-microstructures

Bieger, T.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240038446
HGF-Programm 41.02.04; LK 01
Erscheinungsvermerk High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995 Microsystem Technologies, 2(1996)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page