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Synchrotron radiation analysis of microstructures

Mölders, N.; Moser, H.O.; Menz, W.; Schilling, P.J.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240038453
HGF-Programm 41.01.02; LK 01
Erscheinungsvermerk High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995 Microsystem Technologies, 2(1996)
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