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Fabrication of LIGA-acceleration sensors by aligned molding

Both, A.; Bacher, W.; Heckele, M.; Müller, K.D.; Ruprecht, R.; Strohrmann, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240038456
HGF-Programm 41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995 Microsystem Technologies, 2(1996)
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