Fabrication of LIGA-acceleration sensors by aligned molding

Both, A.; Bacher, W.; Heckele, M.; Müller, K. D.; Ruprecht, R.; Strohrmann, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1996
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240038456
HGF-Programm	41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST '95), Karlsruhe, July 3-5, 1995 Microsystem Technologies, 2(1996)