KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Elektrostatische und elektromagnetische Mikroaktoren in LIGA-Technik

Schulz, J.; Rogge, B.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 240038828
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Innovative Kleinantriebe : Tagung, Mainz, 9.-10.Mai 1996 Düsseldorf : VDI-Verl., 1996 (VDI-Berichte ; 1269)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page