Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1996 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240038829 |
HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Parriaux, O.M. [Hrsg.] Micro-Optical Technologies for Measurement, Sensors, and Microsystems, Besancon, F, June 12-13, 1996 Bellingham, Wash. : Internat.Soc.for Optical Engineering, 1996 (SPIE Proceedings Series ; 2783) (Proceedings Europto Series) |