| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240038830 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Gobin, P.F. [Hrsg.] Proc.of the 3rd Internat.Conf.on Intelligent Materials, Lyon, F, June 3-5, 1996 Bellingham, Wash. : SPIE, 1996 (SPIE Proceedings Series ; 2779) |