Fabrication of microcomponents using adhesive bonding techniques
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240038834 |
| HGF-Programm | 41.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Proc.of the 9th Annual Internat.Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '96) : An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Systems, San Diego, Calif., February 11-15, 1996 New York, N.Y. : IEEE, 1996 |