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Eine Informationsverarbeitungsumgebung zur Konstruktion und Vermessung von Mikrostrukturen

Eggert, H.; Düpmeier, C.; Guth, H.; Scherer, K.P.; Süss, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 240038890
HGF-Programm 41.05.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Vortragsveranstaltung 'Informationstechnik für Mikrosysteme', Stuttgart-Büsnau, 17.Januar 1996 Tagungsband
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