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Fabrication of microlenses by combining silicon technology, mechanical micromachining and plastic molding

Köhler, U.; Guber, A.E.; Bier, W.; Heckele, M.; Schaller, Th.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240038891
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Miniaturized Systems with Micro-Optics and Micromechanics : Proc.of a Symp., San Jose, Calif., January 30-31, 1996 Bellingham, Wash. : SPIE, 1996 (SPIE proceedings series ; 2687)
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