Fabrication of microlenses by combining silicon technology, mechanical micromachining and plastic molding
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240038891 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Miniaturized Systems with Micro-Optics and Micromechanics : Proc.of a Symp., San Jose, Calif., January 30-31, 1996 Bellingham, Wash. : SPIE, 1996 (SPIE proceedings series ; 2687) |