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Potential of LIGA-technology for optoelectronic interconnects

Bacher, W.; Bley, P.; Moser, H. O.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240038924
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Optoelectronic Interconnects and Packaging : Proc.of a Conf., San Jose, Calif., January 30-31, 1996 Bellingham, Wash. : SPIE, 1996 (Critical Reviews of Optical Science and Technology ; CR62)
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