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Magnetic microactuators fabricated by the LIGA-technique for large displacements or large forces

Rogge, B.; Schulz, J. ORCID iD icon; Mohr, J.; Thommes, A.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240038928
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Borgmann, H. [Hrsg.] Actuator 96 : 5th Internat.Conf.on New Actuators, Bremen, June 26-28, 1996 Conf. Proc. Bremen : AXON Technologie Consult GmbH, 1996
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