Influence of the process parameters on the growth of YSZ-layers prepared by ion beam assisted deposition (IBAD)

Knierim, A.; Auer, R.; Geerk, J.; Li, Y.; Linker, G.; Meyer, O.; Reiner, J.; Schweiss, P.; Smithey, R.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1997
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240039171
HGF-Programm	34.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Proc.of the 10th Internat.Conf.on Ion Beam Modification of Materials (IBMM 96), Albuquerque, N.M., September 1-6, 1996 Nuclear Instruments and Methods B, 127/128(1997)