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Microoptical devices based on free space optics with LIGA microoptical benches. Examples and perspectives

Mohr, J.; Göttert, J.; Müller, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240039424
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Parriaux, O.M. [Hrsg.] Micro-Optical Technologies for Measurement, Sensors, and Microsystems, Besancon, F, June 12-13, 1996 Bellingham, Wash. : Internat.Soc.for Optical Engineering, 1996 (SPIE Proceedings Series ; 2783) (Proceedings Europto Series)
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