Microoptical devices based on free space optics with LIGA microoptical benches. Examples and perspectives
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240039424 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Parriaux, O.M. [Hrsg.] Micro-Optical Technologies for Measurement, Sensors, and Microsystems, Besancon, F, June 12-13, 1996 Bellingham, Wash. : Internat.Soc.for Optical Engineering, 1996 (SPIE Proceedings Series ; 2783) (Proceedings Europto Series) |