A tool for fabrication related design of microstructures
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240039635 |
| HGF-Programm | 41.05.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Reichl, H. [Hrsg.] Micro System Technologies 96 : 5th Internat.Conf. on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Potsdam, September 17-19, 1996 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1996 |