Production and surface analytical characterization of various chalcogenide glass thin films for analytical microdevices

Bruns, M.; Klewe-Nebenius, H.; Pfennig, G.; Bychkov, E.; Ache, H. J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1998
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240040392
HGF-Programm	41.03.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	5th Internat.Conf.on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, September 10-13, 1996 Surface and Coatings Technology, 97(1997)