Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1996 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240040454 |
HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Reichl, H. [Hrsg.] Micro System Technologies 96 : 5th Internat.Conf. on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Potsdam, September 17-19, 1996 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1996 |