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Micro-optical and opto-mechanical systems fabricated by the LIGA technique

Mohr, J.; Göttert, J.; Müller, A.; Ruther, P.; Wengeling, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240040737
HGF-Programm 41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Motamedi, M.E. [Hrsg.] Miniaturized Systems with Micro-Optics and Micromechanics, San Jose, Calif., February 10-12, 1997 Bellingham, Wash. : Internat.Soc.for Optical Engineering, 1997 (SPIE Proceedings Series ; 3008)
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