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LIGA-microtesting system with integrated strain gauges for force measurement

Ruther, P.; Bacher, W.; Feit, K.; Menz, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240040740
HGF-Programm 41.02.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Proc.of the 10th Annual Internat.Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '97), Nagoya, J, January 26-30, 1997 New York, N.Y. : IEEE, 1997
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