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Stress-optimised shape memory microvalves

Skrobanek, K.D.; Kohl, M.; Miyazaki, S.



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seit 14.05.2018
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240040743
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Proc.of the 10th Annual Internat.Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '97), Nagoya, J, January 26-30, 1997 New York, N.Y. : IEEE, 1997
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