Fabrication of PMMA based microlenses using the LIGA-process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240040993 |
| HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Microlens Arrays : Proc.of a Conf., Teddington, GB, May 15-16, 1997 European Optical Society, 1997 (EOS Topical Meetings Digest Series ; 13) |