Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1997 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240040995 |
HGF-Programm | 42.01.03 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Kunzmann, H. [Hrsg.] Progress in Precision Engineering and Nanotechnology : Proc.of the 9th Internat.Precision Engineering Seminar and of the 4th Internat.Conf.on Ultraprecision in Manufacturing Engineering, Braunschweig, May 26-30, 1997 Braunschweig : Physikalisch-Technische Bundesanstalt, 1997 Vol.2 |