Fabrication of LIGA mold inserts
Bacher, W.; Bade, K.
; Matthis, B.; Saumer, M.; Schwarz, R.
; Matthis, B.; Saumer, M.; Schwarz, R.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240041033 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | High Aspect Ratio Microstructure Technology (HAMRST '97), Madison, Wis., June 20-21, 1997 Microsystem Technologies, 4(1998) |