Polymer materials for microsystem technologies

Ruprecht, R.; Hanemann, T.; Piotter, V.; Hausselt, H.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1998
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240041420
HGF-Programm	41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Micro Materials '97, Berlin, April 16-18, 1997 Microsystem Technologies, 5(1998)