Reactive accelerated cluster erosion (RACE) for micromachining
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240041977 |
| HGF-Programm | 52.01.16 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Duggan, J.L. [Hrsg.] Application of Accelerators in Research and Industry : Proc.of the 14th Internat.Conf., Denton, Tex., November 6-9, 1996 New York, N.Y. : AIP Press, 1997 (AIP Conference Proceedings ; 392) |