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Reactive accelerated cluster erosion (RACE) for micromachining

Gspann, J.



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seit 15.05.2018
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240041977
HGF-Programm 52.01.16 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Duggan, J.L. [Hrsg.] Application of Accelerators in Research and Industry : Proc.of the 14th Internat.Conf., Denton, Tex., November 6-9, 1996 New York, N.Y. : AIP Press, 1997 (AIP Conference Proceedings ; 392)
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