Surface- and microanalytical characterization of ion-implanted Si-C-N layers

Klewe-Nebenius, H.; Bruns, M.; Lutz, H.; Baumann, H.; Link, F.; Bethge, K.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1998
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240042145
HGF-Programm	41.02.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	9.Tagung Festkörperanalytik, Chemnitz, 23.-26.Juni 1997 Fresenius Journal of Analytical Chemistry, 361(1998)