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Transducer and protective PVD-films for applications in microsystem components

Quandt, E.; Holleck, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240042387
HGF-Programm 41.02.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Michel, B. [Hrsg.] Proc.of the Internat.Conf.and Exhibition Micro Materials : Micro Mat '97, Berlin, April 16-18, 1997 Dresden : dpp Goldenbogen, 1997
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