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Nanostructuring by reactive accelerated cluster erosion

Gruber, A.; Gspann, J.; Blanckenhagen, P.von



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240042458
HGF-Programm 52.01.31 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Papers from the 4th Internat.Conf.on NanometerScale Science and Technology, Beijing, China, September 8-12, 1996 Journal of Vacuum Science and Technology, 15(1997)
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