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MOEMS fabricated by the LIGA technique - an overview

Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240042641
HGF-Programm 41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Internat.Conf.on Optical MEMS and their Applications, Nara, J, November 18-21, 1997 Technical Digest
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