Miniaturized piezo electric optical attenuator realized using LIGA-technology

Wengelink, J.; Debeda, H.; Mohr, J.; Wallrabe, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1998
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240042928
HGF-Programm	41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Opto '98 : 3.Internat.Kongress und Fachausstellung für optische Sensorik, Meßtechnik und Elektronik, Erfurt, 18.-20.Mai 1998 Proc. AMA Fachverband für Sensorik