Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1998 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240042938 |
HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | MEMS '98 : Proc.of the 11th Annual Internat.Workshop on Micro Electro Mechanical Systems, Heidelberg, January 25-29, 1998 New York, N.Y. : IEEE, 1998 |