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Flexible integration of nonsilicon microstructures on microelectronic circuits

Müller, K.D.; Bacher, W.; Heckele, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240042938
HGF-Programm 41.01.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk MEMS '98 : Proc.of the 11th Annual Internat.Workshop on Micro Electro Mechanical Systems, Heidelberg, January 25-29, 1998 New York, N.Y. : IEEE, 1998
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