Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1998 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240042945 |
HGF-Programm | 41.08.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Process Miniaturization : 2nd Internat.Conf.on Microreaction Technology, New Orleans, La., March 8-12, 1998 Topical Conference Preprints |