ALIGA: Ein Service-Center für Mikrosystemkomponenten in LIGA-Technik
Börner, M.; Behringer, U.; Karl, B.; Maas, D.; Schulz, J.
; Gerner, M.; Scheunemann, U.
; Gerner, M.; Scheunemann, U.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240043053 |
| HGF-Programm | 41.04.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 3.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 2.-3.April 1998 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6080 (März 98) |