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Physikalische Mikroaktorik und -sensorik für Anwendungen in der allgemeinen Meß- und Regeltechnik, Verkehrs- und Verfahrenstechnik

Hagena, O.F.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1998
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240043054
HGF-Programm 41.06.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 3.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 2.-3.April 1998 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6080 (März 98)
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