Surface- and microanalytical characterization of silicon-carbonitride thin films prepared by means of radio-frequency magnetron co-sputtering
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240043146 |
| HGF-Programm | 52.01.54 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 25th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF 98), San Diego, Calif., April 27 - May 1, 1998 Thin Solid Films, 332(1998) |