KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Surface- and microanalytical characterization of silicon-carbonitride thin films prepared by means of radio-frequency magnetron co-sputtering

Lutz, H.; Bruns, M.; Link, F.; Baumann, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240043146
HGF-Programm 52.01.54 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 25th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF 98), San Diego, Calif., April 27 - May 1, 1998 Thin Solid Films, 332(1998)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page