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UV-induzierte Abformung von Mikrostrukturen aus Composite-Materialien

Hanemann, T.; Hausselt, J.; Reimann, G.; Ruprecht, R.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1998
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240043192
HGF-Programm 41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 3.Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 2.-3.April 1998 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6080 (März 98)
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