Design optimization considering tolerance effects of microoptical benches
Sieber, I.
; Eggert, H.; Guth, H.; Jakob, W.; Scherer, K. P.; Ziegler, P.
; Eggert, H.; Guth, H.; Jakob, W.; Scherer, K. P.; Ziegler, P.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240043582 |
| HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Reichl, H. [Hrsg.] Micro System Technologies 98 : 6th Internat.Conf.on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Potsdam, December 1-3, 1998 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1998 |