UV-and deep x-ray litography on preceramic polymers
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240043870 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | American Chemical Society National Meeting, Boston, Mass., August 23-27, 1998 Polymer Reprints, 39(1998) |