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Miniaturized piezo electric chopper for fiber optical multimode applications realized using LIGA-technology

Freyhold, T. von; Debeda, H.; Krippner, P.; Mohr, J.; Wallrabe, U.; Wengelink, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240043904
HGF-Programm 41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Proceed. Optical MEMS'98, IEEE/LEOS Summer Topical Meetings, Monterey, Calif., July 20-24, 1998 Digest
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