MEMS actuators based on smart film materials
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240044539 |
| HGF-Programm | 41.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | SPIE's Internat.Conf.on Micromachined Devices and Components IV, Santa Clara, Calif., September 21-22, 1998 Bellingham, Wash.: Soc.of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE Proceedings Series; 3514) |