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Mechanismen zur Reduktion von Eigenspannungen magnetrongesputterter c-BN:C-Schichten

Ulrich, S.; Kratzsch, A.; Leiste, H.; Stüber, M.; Schlossmacher, P.; Holleck, H.; Binder, J.; Schild, D.



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seit 25.11.2018
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Nukleare Entsorgung (INE)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1999
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240044567
HGF-Programm 42 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Dimigen, H. [Hrsg.] Werkstoffwoche '98, München, 12.-15.Oktober 1998 Weinheim [u.a.] : Wiley-VCH, 1999 Bd.IX. Symp.11 - Oberflächentechnik
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