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Simulation of a micro optical distance sensor realized by the LIGA process

Guth, H.; Hellmann, A.; Sieber, I.; Eggert, H.; Mohr, J.; Nakajima, H.; Tanimot, K.; Usami, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1999
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240045160
HGF-Programm 41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk MSM 99 : Technical Proc.of the 2nd Internat.Conf.on Modeling and Simulation of Microsystems, San Juan, Puerto Rico, April 19-21, 1999 Boston [u.a.] : Computational Publ., 1999
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