Alternative resist adhesion- and electroplating layers for LIGA process
El-Kholi, A.; Bade, K.
; Mohr, J.; Pantenburg, F. J.; Tang, X. M.
; Mohr, J.; Pantenburg, F. J.; Tang, X. M.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240045225 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | HARMST'99 - Workshop and Exhibition on High Aspect Ratio Microstructure Technology, Chiba, J, June 13-15, 1999 Microsystem Technologies, 6(2000) |