Electromagnetically driven microchopper for integration into microspectrometers based on the LIGA technology
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240045693 |
| HGF-Programm | 41.07.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Motamedi, M.E. [Hrsg.] Miniaturized Systems with Micro-Optics and MEMS : SPIES's Internat.Symp.on Micromachining and Microfabrication 99, Santa Clara, Calif., September 20-22, 1999 Bellingham, Wash. : SPIE, 1999 (SPIE Proceedings Series ; 3878) |