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Linear microactuators

Kohl, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1999
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240045848
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Ferreira, L.O.S. [Hrsg.] Textbook of the 5th Brazilian School of Microelectronics: Microsystems - MEMS, Campinas, BR, May 3-7, 1999 Sociedade Brasileira de Microelectronica, 1999, Caderno 7
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