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Laser induced surface modification of ceramic substrates for thermal and electric lines in microsystems: modeling compared to experiment

Gruhn, H.; Heidinger, R.; Rohde, M.; Rüdiger, S.; Schneider, J. ORCID iD icon; Zum Gahr, K. H.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1999
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240046677
HGF-Programm 41.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk MSM 99 : Technical Proc.of the 2nd Internat.Conf.on Modeling and Simulation of Microsystems, San Juan, Puerto Rico, April 19-21, 1999 Boston [u.a.] : Computational Publ., 1999
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